配氣系統

配氣系統

主要特點

高清分辨率的真彩電容觸屏，操作作簡單，使用方便

進口品牌高精度質量流量控制器，配氣輸出精度高

PLC可編程控制器,可擴展性強

可定制多種組份氣體通道

技術指標

氣體稀釋精度：≤±1％

出氣流量：0-10L/min（可定制）

響應時間：≤1 sec

預熱時間：＜30 min

工作環境溫度：5℃～45℃

供電：220VAC 50Hz

外形尺寸：深420mm×寬420mm×高220mm

配氣稀釋比：可選 1000:1、500:1、200:1、100:1、50：1

儀器重量： Kg

配氣系統

工作原理：

系統用戶參數及指令輸入和狀態參數輸出顯示均由觸摸顯示屏完成。用戶通過觸摸屏將參數輸入系統，系統根據用戶設定的參數計算出各路對應的控制量去控制調節質量流量控制器(MFC)的輸出。一方面MFC收到系統給它的控制量后調節自身氣路輸出閥門開啟幅度，另一方面MFC實時檢測通入自身內的真實氣體流量，并根據該氣體流量實時輸出一個與該氣體流量成線性正比的反饋信號。系統根據各路該反饋信號獲得實際的氣體輸出流量進而計算實際輸出的氣體濃度。各通道MFC輸出的氣體一同匯入氣體混合器進行充分混合后通過出氣口輸出。