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          氣體質量流量控制器

          產品時間:2023-12-17

          簡要描述:

          Aera流量計 氣體質量流量控制器
          FC-DR980C
          ◆ 流量可覆蓋10sccm-30slm包含腐蝕性氣體(相對于N2)
          ◆ 快速反應
          ◆ 數字和模擬通訊控制模式,橡膠或金屬密封
          ◆ 高可靠性和實用性

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          Aera流量計氣體質量流量控制器FC-DR980C  FC-DR981C:

          Aera創建于美國,是一家提供流體測量和控制產品及全套解決方案的跨國高科技企業,擁有研發及運營團隊,掌握行業先進的流體測量及控制技術,專注于高科技工業領域的廣泛應用,包括半導體、新能源、 新材料,平板顯示、數據存儲、工業鍍膜、食品及化工分析等。Aera 的產品包高性能的氣體質量流量控制儀器及測量儀器,氣體工藝整體解決方案和服務支持方案。Aera始終致力于為客戶開發優化的解決方案及相關產品,客戶包括但不限于原始設備制造商(OEM)和終端用戶(END-USER)。

          氣體質量流量控制器性能:

          數字和模擬兩用型控制

          快速的響應

          高精度

          高度的可靠性和穩定性

          易于整合——標準連接器和尺寸

          規格

          FC-DR980C

          Full Scale Range (N2 Eqv)

          單氣體2-5000sccm

          Control Valve Type 閥門類型

          常開式或常閉式螺線管 (NC or NO)

          Fitting

          接頭

          1/4"VCR or 1/4"Swagelok兼容

          IGS 底部/表面貼裝(c或w密封)

          Seals 密封

          橡膠 Viton金屬

          Response Time 響應時間

          ≤1Sec(超過滿量程10%)

          Accuracy

          精度

          25%-100%:≤±1%S.P (滿量程25%到100%)

          2%-25%: ≤ ±0.25%F.S (滿量程2%到25%)

          Linearity 線性度

          ≤ 滿量程的±0.5%

          Repeatability 重復性

          ≤ 滿量程的±0.15%

          Differential Pressure 壓差

          7 - 40psi

          Leak lntegrity 漏率

          Max:1x10-11Pa.m3/sec (He)

          Control Range 控制范圍

          滿量程的2-100%

          Max Operating Pressure 高操作壓力

          70psi

          Proof Pressure 承受壓力

          Z大值140psi

          Communication Type 通訊模式

          模擬0-5V / RS485

          Input Power

          輸入功率

          +15VDC ±2% at 100mA

          -15VDC ±2% at 200mA

          Command Signal 輸入模擬信號

          模擬信號0-5 VDC(輸入阻抗>1MΩ)/數字信號 0-100%

          Output Signal 輸出模擬信號

          模擬信號0-5 VDC(輸入阻抗>2KΩ)/數字信號 0-100%

          Power Consumption 功耗

          4.5W

          Temperature Range 溫度范圍

          5-45 Deg C

          Materials 材料

          316LSS,316SS,PTFE

          Weight 重量

          1.2kg

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